乐鱼app(中国)官方网站

Adnano-tek中国区联系方式  于淼 :152 2727 0411 yumiao@adnano-tek.com 

 

电子层层基性岩科技(atomic layer deposition, ALD)已经逐渐成为了一项沉积功能薄膜的重要技术。该技术可以在纳米级尺度上精确控制物质成分和形貌,它可以将被沉积物质以单原子膜的形式一层一层的镀在基底表面。

氧原子团组成部分层火成岩的全环节是进行间断的自限制的半发生反馈来确保的,在火成岩的发生反馈全环节中发生反馈的气质联用前置前驱体巡环通入并在基低外层进行亲水性官能团进行编织成单层化学反馈吸附性并已完成发生反馈,进行这样的的巡环巡环的发生反馈,透气膜将得到了高度的奈米级闭环性的生长的。犹豫含有这种火成岩性状,氧原子团组成部分层火成岩科技含有火成岩大占地面积不均透气膜,膜厚奈米级闭环性的生长的,恒温状态火成岩,適合各项缜密基低(如艰深宽比的组成部分)的优良机械性能。这种显著的资源优势使氧原子团组成部分层火成岩科技在大经营规模一体化电路系统、创新能源系统、崔化剂,微电网原材料等的方面均存在比较重要的适用未来。

 

原子核层磨合系統的主耍特性:

 

1、我门的ALD的模式是能否立即变为thermal ALD+RF plasma coil或 是ECR source,以它能否简约应用热的反响源也能否应用等化合物体全面提升反响。当它在ECR(智能旋回震荡)的模式的当时,能否化身变为MPCVD(微波射频等化合物体化学上的汽相形成),能否的生长金刚石胶片。

2、帮忙增配了微波通信等阳亚铁离子体源,产生间断电离、共振发挥和碰撞试验的等阳亚铁离子体。

3、自己还也可以装4个后驱物。图纸最好还也可以要做到8英尺。

4、带来大量的后驱体单元测试,动用缜密的甲烷气体控住开关面板将积聚原料引出衬底。积聚室和衬底使用器带来真空泵具体条件和衬底室温的高精度控住,以保证外加积聚过程中 。

5、这是因为咱们有线宽带性传送装置,所以说咱们的ALD就可以被的设计成超宽正空箱式ALD。其办公操作过程是,先把底压抽至超宽正空箱,第二步办公时把前置前驱物置入不良表现腔通过不良表现。

6、自己更有其次一些特殊的设计构思的气温闸阀组,需要采用温湿度敢达500华氏度的前轮驱动物。最好想发觉创意前轮驱动物的数专家,需要采用本身高环境温度并行传输的高等级体统(此技术性本大公司才有)。

7、利用FBBEAR操控小app,技术的时候自動化操控,满足了精密操控和高不稳性。FBBEAR操控小app提高删改的数据纪要、精密的数据调节,利用户操控简简单单,调查再次性安全。

 

应用:

 

PEALD可以用在于硅、钝化硅等建筑材料的薄层磨合。

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
koko体育app下载 koko体育app下载 凯发k8国际 凯发k8国际 凯发k8国际