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技术参数:


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Pumping: PfeifferHipace 700分子泵;
Load Lock: 手动或自动传样片,适合各种形状尺寸的小破片到100mm大的圆片,高真空背景传递;
Process Control: PC Labview自动控制界面,菜单控制,数据获取和远程控制 ;
In-Situ Monitoring & Control: QCM膜厚监控;

Substrate Fixture: 单支衬底卡具。

                                           
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